雷尼绍介绍XM-60六自由度测量与二维误差补偿方法

雷尼绍 XM-60 多光束激光干涉仪凭借一次架设即可同步测量六自由度误差的能力，用于提升精密运动平台的精度。该设备可同步测量线性定位误差、水平直线度误差、垂直直线度误差、俯仰误差、扭摆误差和滚摆误差，传统方案需数小时甚至数天完成的工作，XM-60 通常可在一次测量过程中完成。对于 X/Y 二维平台，XM-60 仅需分别测量 X 轴和 Y 轴的六自由度误差，即可计算整个平面的空间误差模型，并将补偿数据直接导入运动控制系统，实现全行程补偿。其六自由度误差数据还可帮助研发团队观察导轨安装状态、结构件刚性变化、运动过程中姿态变化及误差来源分布，用于新产品开发、结构优化和量产质量控制。XM-60 配有适用于二维运动平台的平移滑台附件，可水平或竖直方向调整光路。