南京工艺高速滚珠丝杠副与滚动直线导轨副：微米级定位与真空适配的半导体量检测及划片设备配套

南京工艺装备制造股份有限公司的高速滚珠丝杠副与高速滚动直线导轨副已批量配套精密卧式加工中心，实现定位精度2μm、重复定位精度1μm，产品应用至北方华创、中微公司、上海微电子、晶盛机电等半导体设备企业。其高速滚珠丝杠副在60m/min速度下噪音70dB，高速滚动直线导轨副同速噪音68dB。半导体划片机需在微米级精度下完成晶圆切割，按SJ/T 10479-2016标准（2016年6月1日实施），划片机Y轴步进误差应≤0.003mm、累积误差应≤0.005mm；商用8英寸精密划片机BJX3852实测进口滚珠丝杠定位精度达2μm全行程，滚柱导轨直线度达0.9μm，切割速度达600mm/s。南京工艺还是JB/T 13813.4-2020《滚珠丝杠副精度保持性试验规范》的起草单位，该标准于2021年1月1日实施。